Upozornění: Text přílohy byl získán strojově a nemusí přesně odpovídat originálu. Zejména u strojově nečitelných smluv, kde jsme použili OCR. originál smlouvy stáhnete odsud
l lili\ Jl l l l lil l l l l l
Kupní smlouva
UTB — DNS laboratorní přístroje a měřící technika 13/2022 — Systém pro impedanční
přizpůsobení II
uzavřená dle ustanovení § 2079 a násl. zákona č. 89/2012 Sb., občanský zákoník, ve znění pozdějších
předpisů (dálejen „občanský zákoník“), mezi smluvními stranami, kterými jsou:
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně
veřejná vysoká škola zřízená zákonem č. 404/2000 Sb., o zřízení Univerzity Tomáše Bati ve Zlíně
se sídlem: nám. T. G. Masaryka 5555, 760 OI Zlín
IČO: 70883521
DIČ: CZ70883521
bankovní spojení: Komerční banka,'a.s., pobočka Zlín
číslo účtu:
ID datové schránky: ahqj 9id
zastoupená: RNDr. Alexander Černý, kvestor
za věcné plnění odpovídá:
(dále jen „kupující“)-
A
Richard Hrozek K Lipinám 858, Bílovice nad Svitavou utbze5861 c6478
se sídlem: 62092065
IČO: C.j.: UTB/22/007805
C_
DIČ:
Komerční banka, a.s.
bankovní spojení :
číslo účtu: elex@elexbrno.cz
registrace: prg99at
e—mail: Richard Hrozek
ID datové schránky:
kontaktní osoba:
(dále jen „prodávající“)
l. Předmět smlouvy
1) Předmětem této smlouvy je závazek prodávajícího odevzdat kupujícímu věc, která je předmětem
koupě, dopravitji do místa určení (viz. čl. III. smlouvy) a umožnit kupujícímu nabytí vlastnického
práva k této věci.
2) Předmětem této smlouvy je závazek kupujícího věc převzít a zaplatit za ni sjednanou kupní cenu,
to vše za podmínek níže v této smlouvě sjednaných.
Il. Specifikace věci a cena
1) Pro účely této smlouvy se věcí rozumí laboratorní přístroj (dále jen „věc“), pořizovaný pro
potřeby Centra polymerních systémů Univerzity Tomáše Bati ve Zlíně, s parametry
specifikovanými v příloze č. 1 této smlouvy — Technické specifikaci.
2) Cena Věcí je sjednána jako nejvýše přípustná a konečná (vyjma případů, kdy po podpisu této
smlouvy dojde ke změně sazeb DPH), přičemž zahrnuje veškeré náklady prodávajícího nezbytné
pro splněníjeho povinností z této smlouvy, zejména náklady na dopravu věci a úhradujakýchkoliv
správních či celních poplatků, školení a záruční servis.
Název položky počet cena za kus bez DPH
l.NAVIOS,OOOw Tuning Range 3
2.RC STD MAT.CONTROL 1 277 800,-
3.CLB ASY,COAX 7,3m7/16-TO—N
1 4 200,—
1 23 000,—
Cena věci: celkem 3 položky
Celkem bez DPH: 305 000Kč
21% DPH: 64 050Kč
Celkem s DPH: 369 050Kč (slovy: Třistašedesátdevěttisícpadesátkorunčeských.)
111. Další podmínky plnění, místo a termín plnění
1) Prodávající splní svou povinnost dodat věc jejím dodáním do laboratoře VNP budovy určené
kupujícím, odevzdáním kupujícímu a předáním veškeré související dokumentace (především
manuálu v českémjazyce). Věc bude dodána řádně zabalená v zalepených krabicích. O dodání věci
bude stranami pořízen protokol, který podepíší oprávnění zástupci obou smluvních stran (dálejen
„protokol“). Oprávněný zástupce kupujícího je _ oprávněný
zástupce prodávajícího je Richard Hrozek.
2) Prodávající je povinen nejpozději 2 pracovní dny před zamýšleným dodáním věci kontaktovat
oprávněnou osobu kupujícího pro přesné určení, kam má být (do které místnosti) věc dodána.
3) Místem plnění (dodání věci) je Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Centrum polymerních systémů,
tř. T. Bati 5678, 760 01 Zlín.
4) Prodávajícíje povinen dodat věc nej později do 28 týdnů od účinnosti smlouvy.
lV. Platební podmínky
1) Kupující se zavazuje uhradit prodávajícímu cenu věci dle čl. II. této smlouvy na základě daňového
dokladu — faktury, vystavené prodávajícím po dodání věci (viz čl. III. odst. 1) této smlouvy),
přičemž právo fakturovat vzniká prodávajícímu dnem oboustranného podpisu protokolu. Daňový
doklad bude vystaven prodávajícím do 14 kalendářních dnů od podpisu protokolu. E-mailová
adresa pro příjem elektronických faktur — fakturace@utb.cz.
2) Splatnost faktury je 30 dnů odjejího doručení kupujícímu. Faktura bude uhrazena bezhotovostním
převodem na účet prodávajícího uvedený na faktuře. Kupující neposkytuje zálohy.
3) Faktura musí splňovat náležitosti daňového dokladu ve smyslu § 29 zákona č. 235/2004 Sb., o dani
z přidané hodnoty ve znění pozdějších předpisů, jinak je kupující oprávněn fakturu vrátit
prodávajícímu k opravě, a to až do data její splatnosti. V takovém případě běží lhůta splatnosti
faktury nově od počátku dnem doručení opravené faktury kupujícímu. Na faktuře musí být uvedeny
také tyto údaje:
- název zakázky: UTB —— DNS laboratorní přístroje a měřící technika 13/2022 — Systém pro
impedanční přizpůsobení 11, 1D 1895
- označení předmětu plnění,
- fakturovanou částku bez DPH, DPH a včetně DPH.
Den uskutečnění zdanitelného plnění nesmí předcházet datu účinnosti smlouvy na základě
zveřejnění v registru smluv dle zákona č. 340/2015 Sb., o zvláštních podmínkách účinnosti
některých smluv, uveřejňování těchto smluv a o registru smluv (zákon o registru smluv).
4) V případě pochybností se má za to, že faktura byla uhrazena dnem odepsání příslušné částky z účtu
kupujícího ve prospěch účtu prodávajícího uvedeného na faktuře.
5) Platby budou probíhat výhradně v Kč a rovněž veškeré cenové údaje budou v této měně.
V. Odpovědnost a záruka
1) Prodávající odpovídá za vady, které má věc v době jejího předání a dále v rámci poskytnuté záruky
za vady zjištěné po celou dobu záruční lhůty. Prodávající prohlašuje a zavazuje se, že věc bude
dodánajako nová, nepoužitá, nerepasovaná, že na ní neváznou žádné faktické ani právní vady (tj.
zejména práva třetích osob).
2) Prodávající poskytuje kupujícímu záruku za to, že věc bude mít po dobu záruční lhůty vlastnosti
stanovené touto smlouvou, příslušnými právními předpisy a normami, případně vlastnosti obvyklé
a že bude plně použitelná ke sjednanému účelu, popř. k účelu obvyklému (dále téžjen „zárukď').
3) Záruční doba běží počínaje oboustranným podpisem protokolu a činí 15 měsíců od předání věci na
základě podepsaného předávacího protokolu.
4) V době záruční lhůty nebude za opravy účtován materiál, komponenty, práce za odstranění závad,
cestovní či jiné náhrady.
5) Délka záruční doby se automaticky prodlužuje o počet dnů uplynulých od ohlášení zavady až do
jejího úplného odstranění.
6) Záruka se nevztahuje na poškození věci způsobené kupujícím neodborným zásahem nebo
nesprávnou obsluhou a dále na škody způsobené zásahem třetí osoby a vyšší mocí. »
7) Reklamaci odešle kupující písemně na adresu sídla prodávajícího, datovou zprávou dle příslušného
právního předpisu či e-mailem na výše uvedenou e-mailovou adresu, přičemž volba způsobu
oznámení reklamace přísluší kupujícímu. V reklamaci musí být vada popsána včetně toho, jak se
projevuje.
8) Prodávající je povinen reklamovanou vadu odstranit (nedohodnou—li se strany písemně jinak)
v nejkratší možné lhůtě vzhledem k povaze dané vady, přičemž pro vyloučení pochybností spolu
oprávnění zástupci smluvních stran přesnou délku takové lhůty dohodnou. Nedojde-li ktakove'
dohodě, je prodávající povinen reklamovanou vadu odstranit do 15 dní od doručení reklamace a to
buď provedením opravy nebo výměnou celé věci za novou ve stejné nebo vyšší kvalitě. O
odstranění vady sepíší smluvní strany zápis.
9) Záruční opravy budou poskytovány dodavatelem věci, výrobcem věci nebo smluvním servisním
partnerem výrobce, kterým je pro účely plnění této smlouvy (Richard Hrozek — K Lipinám 858,
Bílovice nad Svitavou IČO: 62092065. Servisní středisko: Selská 27, Brno 61400, tel _.
10) Za provedení záruční opravy nepřísluší prodávajícímu jakákoliv kompenzace souvisejících
nákladů. '
11) Smluvní strany se dále dohodly, že vady Věcí, na které se nevztahuje záruka, je prodávající povinen
na žádost kupujícího odstranit, a to v přiměřeném termínu a za svých standardních cenových
podmínek.
12) Prodávající se zavazuje poskytovat kupujícímu k předmětu koupě pozáruční servis, a to po dobu
60 měsíců s tím, že prodávající garantuje to, že budou k dispozici náhradní díly. Pozáruční servis
bude fakturován dle této smlouvy za standardních cenových podmínek prodáVajícího v okamžiku
realizace servisního zásahu. Cena pozáručního servisu není součástí ceny věci dle čl. 11 odst. 2 této
smlouvy.
Vl. Sankce
1) Při prodlení kupujícího s úhradou kupní ceny věci je kupující povinen uhradit prodávajícímu úroky
z prodlení ve výši dle příslušného právního předpisu.
2) Při prodlení prodávajícího s dodáním věci ve sjednaném termínu je“ prodávající povinen uhradit
kupujícímu smluvní pokutu ve výši 0,1 % z ceny věci včetně DPH za každý započatý den prodlení
maximálně však do 100 % ceny věci dle čl. II odst. 2 této smlouvy.
3) Smluvní pokuty dle této smlouvyjsou splatné do 15 dnů od doručeníjejích písemného vyúčtování
povinné straně.
4) Při prodlení prodávajícího s provedením záruční opravy ve lhůtách stanovených touto smlouvu,
případně pokud nezapůj čí náhradní zařízení o stejné nebo vyšší kvalitě, uhradí prodávající
kupujícímu smluvní pokutu ve výši 500 Kč za každý i započatý den, o který provedení záruční
opravy přesáhne lhůtu vymezenou dle čl. V, odst. 8 této smlouvy.
5) Ujednání o smluvních pokutách nemají vliv na náhradu škody, její uplatnění ani vymáhání.
VIl. Odstoupení od smlouvy
1) Poruší-Ii jakákoli strana smlouvu podstatným způsobem, může druhá strana bez zbytečného
odkladu od smlouvy odstoupit. Podstatnéje takové porušení povinnosti, o němž strana porušující
smlouvu již při uzavření smlouvy věděla nebo musela vědět, že by druhá strana smlouvu
neuzavřela, pokud by toto porušení předvídala; v ostatních případech se má za to, že porušení
podstatné není.
„ .. . _\ Mw—W‘FWAKA
, ___. 2) Strana může od smlouvy odstoupit bez zbytečného odkladu poté, co zchování druhé strany
nepochybně vyplyne, že poruší smlouvu podstatným způsobem, a nedá-li na výzvu oprávněné
strany přiměřenou jistotu.
Vlll. Závěrečná ustanovení
1) Prodávající bere na vědomí, že je osobou povinou spolupůsobit při výkonu finanční kontroly dle §
2 písm. e) zákona č. 320/2001 Sb., o finanční kontrole ve veřejné správě, v platném znění.
2) Prodávající se zavazuje, že umožní všem subjektům oprávněným k výkonu kontroly, z jejichž
prostředků je plnění dle této smlouvy hrazeno, provést kontrolu dokladů souvisejících s tímto
plněním, a to po dobu danou právními předpisy ČR kjejich archivaci (zákon č. 563/1991 Sb., o
účetnictví, v platném znění a zákon č. 235/2004 Sb., o dani z přidané hodnoty, v platném znění).
3) Práva a povinnosti smluvních stran vznikající z této smlouvy a výslovně neupravené jejím zněním
se řídí právními předpisy České republiky s vyloučením případných kolizních norem, a to zejména
občanským zákoníkem.
4) Tuto smlouvu lze měnit či doplňovat pouze písemnými číslovanými dodatky, které budou za
dodatek smlouvy výslovně označeny a podepsány oprávněnými zástupci obou smluvních stran.
5) Je-li nebo stane-li se kterékoli ustanovení této smlouvy v jakémkoli směru nezákonným, neplatným
či nevykonatelným, zákonnost a vykonatelnost zbývajících ustanovení této smlouvy tím nebude
dotčena ani oslabena. Smluvní strany se zavazují, že jakékoli takové nezákonné, neplatné nebo
nevykonatelné ustanovení nahradí novým, které bude nezákonnému, neplatnému či
nevykonatelnému ustanovení svým významem co nej blíže.
6) Tato smlouva je vyhotovena v písemné formě a každá smluvní strana k ní připojuje v souladu
s příslušnými ustanoveními zákona č. 297/2016 Sb., o službách vytvářejících důvěru pro
elektronické transakce, svůj kvalifikovaný elektronický podpis.
7) Tato smlouva nabývá platnosti dnem přiložení elektronického podpisu poslední smluvní strany
& účinnosti dnem uveřejnění v centrálním registru smluv v souladu se zákonem č. 340/2015 Sb.,
o zvláštních podmínkách účinnosti některých smluv, uveřejňování těchto smluv a o registru smluv
(zákon o registru smluv).
8) Nedílnou součástí této smlouvy je příloha č. 1 — podrobná technická specifikace věci.
Ve Zlíně dne: '4"— 3: ZLOM! v Brně dne: 5 „lí- {2,an
Za kupujícího: Za prodávajícího:
RNDr. Alexander Černý Richard Hrozek
kvestor UTB ve Zlíně
(podepsáno elektronicky) .
154% _sz i'nlwmlew' “lo/lin oc WWW flea/MM ma,/gum— Sao/MW
Odpovídá Datum WVM/mf M—Wúogíww ll
5 PO/OO
EO
Věcně
Příloha č. I — Technická specifikace
UTB — DNS laboratorní přístroje a měřící technika 13/2022 — Systém pro impedanční
přizpůsobení II
:iLDE‘NfiFIKAéNi‘UiSAJE2%AiVAT‘ELf“ i "
Obchodní název: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně
Sídlo: nám. T. G. Masaryka 5555, 760 01 Zlín
IČO: 70883521
Rektor: prof. Ing. Vladimír Sedlařík, Ph.D., rektor
Předmět veřejné zakázky:
Předmětem veřejné zakázky je dodávka systému pro impedanční přizpůsobení (tzv.
„matching systém“) v obvodech s induktivně buzeným plazmatem při frekvenci 13.56 MHz
pro potřeby Centra polymerních systémů Univerzity Tomáše Bati ve Zlíně.
Specifikace předmětu veřejné zakázky:
. vzduchem chlazené zařízení pracující při napětí 230 V (napájení pro provoz samotného
přístroje, nejedná se o specifikaci vysokofrekvenčního vstupu),
impedanční přizpůsobení pro frekvenci 13.56 MHz +/- 0.005 %,
vstupní elektrický výkon alespoň 5000 W,
vstupní impedance 50 Ohm,
ladící rozsah alespoň v rozsahu definovaném v níže uvedeném Smíthově diagramu,
okraje ladícího rozsahu alespoň 29+j139, 46+j39, 0.8+j23, 0.5+j130 (větší rozsah není
překážkou),
. možnost manuálního nebo automatického ladění (tzv. „auto tuning“),
. doba automatického ladění kratší než 5 sekund,
. kompatibilita s frekvenčním generátorem 13.56 MHZ Ceasar řady 1312, typ 61300059,
výrobce Advanced Energy Industries, Inc. (v majetku zadavatele),
. spojení generátoru Ceasar 1312 a „matching systemu“ musí být realizováno pomocí
kabelu s lSpinovým konektorem,
» pomocí ovládacích prvků generátoru Ceasar 1312 (klávesy na předním panelu) musí být
možné ovládat i samotný „matching system“,
. součástí dodávky musí být software pro diagnostickou kontrolu „matching systemu“,
. součástí dodávky musí být potřebné vybavení pro vzájemné propojení frekvenčního
generátoru a „matching systemu“, jmenovitě:
- „matching“ kabel pro datové propojení generátoru a „matching systemu“ vybavený
15 pinovými konektory o délce alespoň 10 metrů;
- výkonový koaxiální kabel RG 213 o délce 7.3 metrů vybavený koncovkou 7/16 a
N-konektorem (výkonové spojení generátoru a „matching systemu“).
o součástí dodávky musí být ruční bezkontaktní teploměr pro kontrolu teploty cívky,
teplotní rozsah alespoň —30 °C až 650 oC,
. záruční lhůta minimálně 15 měsíců.
Požadovaný počet: 1 ks
Obrázek Ladící rozsah (Smithouvd lagram), při zo : 50 Ohm
REV ECO DESCRIPTION OF CHANGE
A 79781 Ori ' Issue
NOTES: UNLESS OTHERWISE SPECIFIED-
IF THE PRODUCT DEFINED BY THIS SPECIFICATION CARRIES REGULATORY AGENCY
SAFETY CERTIFICATION, CHANGES TO THE PRODUCT SPECIFICATION REQUIRE REVIEW
AND APPROVAL BY COMPLIANCE ENGINEERING.
ORG Craig Powers DATE 7/6/11 CE Bryan Hardman DATE 7/11/11
CHK Stephen Lord DATE 7/6/11 APPV Mike Pogar DATE 7/6/11
TITLE NavioTM Product Specification(s):
NAVIO SP 13MHZ, 5KW, 7-16, MC6, 15PIN, AC, DCB (3155405-300)
— ADVANCED DWG. REV SHEET 1 OF 21
E ENERGYG NO. 55120033 A
Confidential Material
This form is not controlled and may not be current. Verify with the appropriate Advanced Energy Product Manager that you are using the most recent
version of this document.
—“'.'I“> /——~ im,—.vent“ „ GENERAL DESCRIPTION |
_ \
\
.- This document describes the Advanced Energy Industries, lnc. (AEIS) AE product number
3155405-300. This NavioT'VI is a 5kW, 13.56 MHz, 4000 Vpk 7O Arms (BZON connector) (6mm
circular cross section of MC6 adapter limits current to 40 Arms), microprocessor-controlled
impedance matching network with the optional CesarTM match interface.
This product is an RF-matching network designed to convert the complex impedance of
inductively or capacitively coupled plasmas at 13.56 MHz to a user specified input impedance
(typically an industry standard, 500 resistive load).
This air—cooled match network is designed for 13.56 MHz operation and provides rapid,
accurate and reliable impedance matching across the load range defined herein.
This match is equipped with a 15-pin analog connector which is compatible with'the Cesar
match interface port on the Cesar generator.
The NavioTM provides a serial interface port via 9—pin connector. The match network uses an
|EC32O AC connector and can be powered with AC power of 100-240V +l-10%. The RF input
connection is made via a type 7-16 female connector. The output of this match is a custom
B2ON female connector with an adapter to MC6 on the rear of the match.
The NavioTM Match has (2) modes of operation: auto, manual. Whenever RF power is applied
and the match is in auto mode, it will automatically adjust the capacitor positions to achieve the
desired input impedance. When RF power is turned off, the capacitors will remain in their last
position (if presets are disabled). Presets may be enabled or disabled via the serial port. If the
presets are enabled through the serial portgthe capacitors will return to a preprogrammed
preset position when RF is turned off. When the match is put into manual mode, the capacitor
positions can be incrementally increased or decreased, such as when controlled using the AE
. Cesar generator front panel.
Advanced Energy Virtual Front Panel (VFP) software is available for diagnostic control of the
NavioTM. VFP connects to the NavioTM RS—232 port and provides control and monitoring of all
match functions. Features of VFP include: capacitor control, instrumentation feedback, Smith
Chart feedback for manual tuning adjustment, tuning parameter adjustment, and data logging
(with appropriate software license).
A typical sequence of commands that utilizes multiple process presets is as follows:
With presets disabled.
Place the match in} manual mode.
Move the load and tune capacitors to desired presets for the process.
Place the match in auto mode.
Turn on RF and let the match auto tune while monitoring for fault conditions and proper
tuning.
Turn off RF and go back to manual mode.
If there are less than four processes, the match can store the presets internally using VFP and
then the match may be left in auto mode. Just select the preset to use and enable presets.
When the Navio is connected to a Cesar generator through the 15 pin Cesar match interface,
the preset positions can be controlled via the Cesar generator.
m ADVANCED DWG. REV SHEET 2 OF 21
E ENERGY‘” NO. 55120033 A
Confidential Material
2.0 PHYSICAL SPECIFICATIONS
E Parameter 149(H) x 245(W) x 374(D) mm
E Dimensions Dimensions do not include fans, mounting brackets, or RF Input.
E: . Minimum 6.5 cm clearance required for all vent holes and fans
EE Clearance Weight not to exceed 10 kg
E? Weight Custom mounting on the rearplate of the match
E* Mounting Mating Surface: Clear Alodyne
E ;, Finish
E5 (Class C per AE Document RM0013, Sec 2)
E' ; Other Surfaces: Clear Alodyne
ří (Class Byer AE Document RM0013, Sec 2)
EE
Parameter N/A — Unit is air cooled
E Coolant connectors RF Ingut: pre 7—16 female
E, “v E Electrical Connectors RF output: Custom BZON female with MC6 adapter
E RS—232: 9-pin D-subminiature, female
g— Analog l/O: 15 pin D-subminiature, female (Cesar match interface)
E. AC Power Input Connector: IEC320
E
—ADVANCED DWG. REV SHEET 3 OF 21
E ENERGYQ NO. 55120033
Confidential Material
ELECTRICAL SPECIFICATIONS
Parameter 100-24OVAC +/—10%.
INPUT POWER SPECIFICATIONS Single Phase, 50/60 Hz +/- 3 Hz.
Source voltage < 1.4 A rms maximum
Source frequency
Source current < 3.5mA maximum
Maximum Leakage Current
““ ADVANCED DWG. 5 5120033 REV A SHEET 4 OF 21
Ě ENERGYG NO.
Confidential Material
3.0 ELECTRICAL SPECIFICATIONS (cont...)
MATCHING NETWORK 13.56 MHz +/- 0.005%
SPECIFICATIONS 70 A rms at 13.56 MHZ (BZON connector)
Frequency 40 A ms at 13.56 MHZ when using MC6 adapter
Max output current 4,000V peak at 13.56 MHZ
(Note: Input power may be de—rated into some load conditions to
Max output voltage maintain output VA limits.)
Max. power input
3155405—300 5,000 W Figure 3
Reflected Power (Auto tune, match SW or 1% of forward power from 50 to 5,000W, whichever is greater
condition)
Input Impedance 50 ohms, nominal (Auto tune, Matched Condition)
Tuning Time <3 seconds end to end
<2 seconds from proper preset point to matched condition.
Tuning Network See Figure l
Typical tuning range 3155405-300 : See Figure 1
Typical tuning range corners 3155405-300: 29+j139, 46+j39, 0.8+j23, 0.5+j130
Settling time S 1 sec. defined as the time for the match to re-establish a
return loss S -20dB when the load reactance is shifted
Stability sufficiently to introduce an instantaneous rise in the return
Auto/Preset threshold loss to —l OdB.
No oscillation of cap position for any stable load.
RF Peak Voltage monitor Capacitor Positions: Relative position of each tuning element,
DC Bias monitor sealed for Incident RF Power 5 30 W, unit will remain Preset
Fan Incident RF Power 2 50 W, unit will remain in Auto Mode
Interlock (Not equipped on this match) NA
+/— 1% of full scale
Output protection
Warm up The interlock is intended to be an indication ofsystem readiness. It
is not intendedfor use as a safety interlock.
NA
Maximum 10 seconds
ADVANCED DWG- 55120033 * REV A SHEET 5 OF 21
E ENERGYG
Confidential Material
'" Š "--= NavioTM
. Parameter
Firmware 7410005D00
Default shipping Parameter Value
Parameters - NavioTM
Control Mode Stop VSWR: Auto
VSWR Limits Start VSWR: 1.06
Capacitor Range 1.19
Settings Series: Min 0%, Max 100%
Trajectory Gains
Shunt: Min 0%, Max 100%
Step Limits Mag-Shunt: 0.8
Presets Phase—Shunt: 0.2
Magieries: —0.2
Miscellaneous Phase-Series: 08
Target Z Shunt: Max 5%
Series: Min 0.5% Max 5%
Shunt:
Series: 60%
Ser/Shn Preset Mode: 40%
External Preset Mode: ON
Input Sensor A3: OFF
Input Sensor Poff:
Hold Shunt: 4
Samle Integration: 25
False
8 (23)
50+j0
E "“ EANDEVRAGNYCQED DNOW.G. 55120033 REV A SHEET 6 OF 21
Confidential Material
4.0 ENVIRONMENTAL SPECIFICATIONS +S°C to +40°C
-25°C to +55°C
Ambient Temperature -25°C to +70°C
50°C Max
Operating Overvoltage Category II, Pollution Degree 1
Storage
Transportation 5—85% relative humidity; non—condensing
Surface Mounting Temperature
Environment 2 788 mbar (s 2000 m (6,561 feet) equivalent
Humidity altitude)
2 788 mbar (s 2000 m (6,561 feet) equivalent
Atmospheric Pressure altitude)
2 656 mbar (s 3500 m(11,480 feet) equivalent
Operating altitude)
Storage
Transportation
ADVANCED DWG. REV SHEET 7 OF 21
Ě ENERGYG’ NO. 55120033 A
Confidential Material
'Í 5:0 INTERFACE SPECIFICATIONS J
f» CVParameter The signals on the host connectors comply with EIA STD RS—232C. Refer to this
" Host port — used to monitor and standard for signal descriptions and characteristics. All signal directions (transmit
control the automatch
and receive). are referenced to the automatch, not the user’s interface.
RS-232 (AEHOST)
The communication protocol for information transfers on the NavioTM’s serial
ports comply with the AE Bus format defined in Navi'oTM User Manual.
Contact your AE sales or service representative for information on this
interface protocol.
Pin Name Description
Type. 9p Dsub (F) 1 Reserved Reserved
2 RS—232 TXDD TXDD
3 RS-232 RXDD RXDD
4 Reserved Reserved
Data common
5 COMD Reserved
Reserved
6 Reserved Reserved
Do not connect.
7 Reserved
8 Reserved
9 Reserved
ADVANCED DWG. REV SHEET 8 OF 21
A ENERGYC9 NO. A
55120033
Confidential Material
[5.0 INTERFACE SPECIFICATIONS (cont...) |
Cesar Match Interface — used to connect match to Cesar generator .
The NavioTM match provides an analog interface to allow the Cesar generator to control the Navio match.
Cesar match port connector: 15-pin, female, shielded, subminiature-D connector
Pin Return Name Signal Description
Pin Type
1 GND Ground Input Connect to the shield ofthe cable (for example RC cable)
2 1 or 9 Decrease Input Connect this +15 V input to ground to decrease Cum Interrupt the
CLoad connection to ground when the desired position for CLoad is reached.
3 1 or 9 Increase Input Connect this +15 V input to ground to increase Cum. Interrupt the
CLoad connection to ground when the desired position for CLond is reached.
4 1 or 9 Decrease Input Connect this +15 V input to ground to decrease Crime. Interrupt the
CTunc connection to ground when the desired position for CTune is reached.
5 1 or 9 Increase Input Connect this +15 V input to ground to increase CTunc- Interrupt the
CTunc connection to ground when the desired position for CT“ne is reached.
6 GND Ground GND Reference ground for DC Bias and capacitor position signals.
N/A Reserved
1 or 9 Manual Input Connect this +15 V input to ground to set the NavioTM match
Mode network into manual mode.
9 GND Ground GND Ground connect to the cable shield
10 1 or 9 +5V Supply Output +5 Volts DC from internal DC supply.
For external use. Maximum current draw 100 mA.
11 1 or 9 +15V Output +15 Volts DC from internal DC supply.
Supply
For external use. Maximum current draw 100 mA.
12 6 DC—SelfBias Output DC self bias test voltage.
Monitor
Provides a test voltage to monitor the DC self bias of the plasma
electrode in the vacuum chamber. The output voltage is scaled down
to 400:1 (400 V of DC bias results in 1 V output). The instrument
used to measure the bias voltage should have an input impedance of
at least lOkQ.
13 6 CTunc Output Series (tune) capacitor position signal.
Position
Monitor The voltage at this output is directly proportional to the position of
the capacitor CTM. The minimum voltage is approximately 0.0 V
representing the minimum capacity of CTunc- The maximum voltage is
approximately 10.0 V representing the maximum capacity of CTM.
14 6 Chm, Output Shunt (load) capacitor position signal.
Position
Monitor The voltage at this output is directly proportional to the position of
the capacitor CLmd. The minimum voltage is approximately 0.0 V
representing the minimum capacity of CLoad. The maximum voltage is
approximately 10.0 V representinghe maximum capacity of CLoad.
15 1 or 9 Matching Output This open collector output is pulled low when the NavioTM match
Activity network is active (the motors are running) and floats when the
Status matching is done (the motors are not running).
30V maximum, 20 mA maximum
DWG. REV A SHEET 9 OF 21
“ADVANCED Na 55120033
AE ENERGYG
Confidential Material
SWITCHES AND INDICATORS
- _. ;;; v
_ - ' *'There are no user accessrble sw1tches or 1nd1cators on the match network.
| 7.0 SAFETY AND REGULATORY SPECIFICATIONS
Parameter Units
AC Input Protection $3.15 A,250VAC In live and neutral
Overload Protection This product must be used with RF generators that are Short Circuit protected.
Product Identification Labels Minimum : AE part number, serial number, product revision
Safety Labels Hazardous Voltages, Non-ionizing Radiation
EMC Standards To determine which EMC standards are to be met and how assurance of
compliance is to be demonstrated. See table below.
Safety Related Standards: Must be tested to and Intended to be installed Conditions of use which may affect
compliant with these & used with these: compliance:
Low Voltage Directive
V
2006/95/EC
EN 61010-1 „,
(IEC 61010-1)
SEMI 82:0706 g
„,
SEMI F47 *
* The match does not require operator or controller intervention to resume normal operation after experiencing line voltage
disturbances as described in SEMI F47. The match may stop tuning during the event.
EMC Related Standards Must be tested to and Intended to be installed Conditions of use which may affect
complies with these: & used with these: compliance
EN55011 V
Group 2, Class A
EN 61000-6-2 V
FCC 47 CFR, Part 18 „,
EMC Directive 2004/ 1 08/EC v
Certified by: Compliance Assured
By:
Self Assessed by Compliance V
Eng.
“' ADVANCED DWG. 55120033 REV A SHEET 10 OF 21
AE ENERGYQ NO.
Confidential Material
*“ “"““—“ vM“F„'Ž—'1ÉMT<:4
8.0 Figures and Drawings
nr m LI Cad: LZ O mr otrr
ClnpntJml Cullum! „Ha *?
Lllmnt
(:me
Figure 0
Diagram of Match Configuration
Cinpuljad Ll CShunt LShunl CSeries LZ COulputJad
(pF) (nH) (p?) (nm (pF) (nm (pF)
3155405-300 Ogen 264 923-450 240 665-445 74 Open
ADVANCED DWG. 5 512003 3 REV A SHEET 11 OF 21
Ě ENERGYG NO.
Confidential Material
8.0 Figures and Drawings (fig 1): 3155405—300: Smith Chart Tune Range
3155405-300
Figure 1 —Tune Range
Smith Chart (Z5509) Analog Instruments Co.TM
3155405-300
%
.CI
9
><
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50
R (Ohms)
Figure 2 — R and X range
'“ ADVANCED DWG. 55120033 REV A SHEET 12 OF 21
AE ENERGYG NO.
Confidential Material
[8.0 Figures and Drawings (fig 3): 3155405-300: Safe Operating Area I
3155405-300
X (Ohms)
Tune Range
5000 W
4000 W
3000 W
2000 W
1000 W
0 1 2 3 4 5 6 7 8
R (Ohms)
Figure 3 — Safe Operating Area
InADVANCED DWG. REV SHEET 13 OF 21
E ENERGYG NO. 55120033 A
Confidential Material
[Š.O Figures and Drawings (fig 4): 3155405-300: Power Derating by capacitor position
3155405-300
C\"
%
o
%
*::
&
E
5
E—
0 51015 20 25 30 35 4o 45 so 55 60 65 70 75 so 85 90 95100
Load (Shunt) Cap %
Figure 4 — Safe Operating Area by capacitor position
"ADVANCED DWG. 55120033 REV A SHEET 14 OF 21
:ENERGY® NO.
Confidential Material
8.0 Figures and Drawings - Continued
REV. ECO 9 DESCIHI’IION OF CHANGE ORG/BAIE CHI/DATE APP/DAIE
LERIIVPIM l PS (IA/SDI l CPI’XIMDI I
/\ - ORIDIHN BŠUL
PRODUCT OVERVIEW
FOR DIMENSIONS
SEE SHEET 2 THRU 6
WEIGHT: 24.8 LBS.
DO NOT SCALE SIGNATURE DATE
M fl III-ADVANCED K.SUCHARITHA 032011 7figvfié§figgmliibsgvgb
THRD ANGLE PROECTION E ENERGW L “RSCOFIELD 04,2011 _ l ! ! !
TOLERANCES Wurm
X.);(ž = 1 1220 mama—“v_m—CWON—HDEAHAE GPS?—308W 03,2011 om: mm m R"
“_- - waxxymévgatmmmsmm „mám “ 1:4 " “'
2 = 5%? mums; a3;::":su:s«:;:-z:e:~:sam A 1 OF & 55320111 A
Figure 5-ICD Drawing pg.1
ů__:- ADVANCED DWG. 5 5 12003 3 REV A SHEET 15 OF 21
ENERGY NO.
Confidential Material
8.0 Figures and Drawings - Continued
2.64 TYP. 245.0
SCREW HEAD»
100.82
HEIGHT
CENTER <—
—-
GRAVITY
I \ACCESS
COVER
204.16
CENTER
GRAVITY
374.0 „
Q
0
LAIR INTAKE
9 MINUMUM
CLEARANCE
a o o a 13MM
E
..ADVANCED NAVIO SP 13MHZ, 5KW,
AEENERGYG 7-16, MČG, 15PIN, A’,c Dc’a
PROPRIETARYANPCONFIDENTIAL 51: 14 „mm „[V
„rů-“ „, 55320111 A
Figure 5-ICD Drawing pg.2
_ ADVANCED DWG. 5 5120033 REV A SHEET 16 OF 21
TE ENERGY NO.
Confidential Material
Figures and Drawings - Continued
<— 225.4 —-
216.9
RF INPUT CONNECTION
7—I ó SERIES (FEMALE) _„_
„ _\ ,- a
I09 8 T_m
I
55.0
APPLIANCE INLEIJ 9—PIN D—SUB (FEMALE)
TYPE 6100-3 /- NAVIGATOR HOST
AIR
VENT
MINIMUM
CLEARANCE
IsMM
© Aw mph" ©
$ ©'
** ©
(9É:“9:
I
49.6
29.6
] —-— 2x 41.8 + +
ANALOG I/O
I5-PIN D-SUB
(FEMALE)
DHALA
SCALE] :2
—ADVANCED NAVIO, SP 13MHZ, 5KW,
flEENEI‘aGw 7-16, MCS, 15PIN, AC, DCB
MPROPRJETARYANO CONFIDENTIAL 5'15- hCALt 1'4 „mm, ”Ev
”mix“ m 55320111 A
Figure 5-ICD Drawing pg.3
*“ ADVANCED DWG. 5 5120033 REV A SHEET 17 OF 21
AE ENERGY NO.
Confidential Material
IE) Figures and Drawings - Continued I
-—148.6 ——
68.41
— CENTER
GRAVITY
_/ 204.16
AIR CENTER
EXHAUST GRAVITY
MINIMUM
CLEARANCE
IsMM
AIR VENT
VENT MINIMUM
MINIMUM CLEARANCE
CLEARANCE 13MM
IsMM
_ NAVIO SP 13MHZ, 5KW,
AE23¥$2$9E° 7-16, Més, 15PIN, AC, DCB
' PROPRIETARY AND CONFIDENTIAL IT 527% 1,4 mm No :
W v .,W . L „ ZE . 55320111 A
namror thDlRPE-VIKWHIKS L(GMD MI. wmv umi nu- mnm-neumi“
nu umu tunu: umana
"mm" > A 91E2r4 OF 6
nun. mi ! lomu mnam "umu-.
Figure 5-ICD Drawing pg.4
l"'ADVANCED DWG. 12 REV A SHEET 18 OF 21
=ENERGY® NO. 55 0033
Confidential Material
lí) Figures and Drawings - Continued J
8338 8 8% iš 8X MOUNTING HOLES
(„- V,- („- „5 a g ; g MóXiOWiSMM
CLINCHING NUT
O r— “d' O r\ r— .— .— ,—
135.78 — — RF OUTPUT
CONNECTION
45.00 _ o M6X1.0 STUD
„: SEE SHEET 6 FOR
0
‘Q AQ MORE DETAILS.
4/
" (D
AIR OO o
EXHAUST
MINIMUM ln L!) In
CLEARANCE
I3MM o' (\i o'
OO (') (D (')
“. ©. ‘flwfi ,— o:
‘1‘ N || _D
o _ ~o * ;Ř
o l|
14,00 —/’
D
0 xy MOUNTING HOLEs
e
„ mm .o W I3MM
° CLINCHING NUT
145.00 —.¢ 0
.. oa
o
O
266.00 _____,_, !Q
0 G 0D
o o:
I
o 0L
EADVANCED NAVIO, SP 13MHZ, 5KW,
flfigNERGw 7-16, MCS, 15PIN, AC, DCB
PROPRIETARYANDCONFIDENT% IAL ? sm; 1‘4 „WND my
„„Ai— 55330111A
Figure S-ICD Drawing pg.5
mADVANCED DWG. 55120033 REV A SHEET 19 OF 21
AE ENERGY NO.
Confidential Material
figures and Drawings - Continued J
_ V
;
26.54
1 2.25
7.62
2.54
0.25
18.45
38.45
SECTION 8-8
SCALE] : 2
' - » NAVIO SP13MHZ, 5KW,
flt23¥33$0 7-16, M66, 15PIN, AC, DCB
[pnome—mnvnun coNmemu. FÉ „„ „„ „o v
manual mnczammvmummmsm
"mm m. 'm, um. n.m. m 1.4 IICLECI IN NV. WVILEMIII 9mm
33—55-— RIT MEGnVIIIM'MŠŽ'ů“
INDPIUEADÍYU. VPCIWKTUIŠGWUWIZILVIM
vVŘVlulH-IS Hartwwmmvwmom “Alan". 6 OF 6
'
Figure 5-ICD Drawing pg.6
—ADVANCED ‘DWG. 55120033 REV A v SHEET 20 OF 21
ESE ENERGY‘” NO.
»
Confidential Material .
9.0 APPLICABLE DOCUMENTS ‘fl
Document AE Document Number
NavioTM manual 57020137-00
“" ADVANCED DWG. 5 5120033 REV A SHEET 21 OF 21
AK ENERGYO NO. -
Confidential Material